濰坊光學(xué)微電子凈化工程潔凈生產(chǎn)區(qū)施工要點基層處理是施工基礎(chǔ)。地面需采用激光整平技術(shù)實現(xiàn)3米范圍內(nèi)平整度誤差≤2mm，同時進行密封固化處理，阻斷粉塵析出。

產(chǎn)品型號：HZD

更新時間：2025-12-08

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產(chǎn)品介紹

濰坊光學(xué)微電子凈化工程潔凈生產(chǎn)區(qū)施工要點

光學(xué)微電子產(chǎn)業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度、溫濕度及氣流控制要求嚴(yán)，潔凈生產(chǎn)區(qū)作為核心區(qū)域，其施工質(zhì)量直接決定產(chǎn)品良率與設(shè)備運行穩(wěn)定性。施工需秉持“精準(zhǔn)控制、全程潔凈、系統(tǒng)協(xié)同"原則，統(tǒng)籌各環(huán)節(jié)技術(shù)要點。

基層處理是施工基礎(chǔ)。地面需采用激光整平技術(shù)實現(xiàn)3米范圍內(nèi)平整度誤差≤2mm，同時進行密封固化處理，阻斷粉塵析出。墻面基層優(yōu)先選用防菌防潮石膏板，接縫處采用圓弧過渡設(shè)計，避免積塵，所有基層施工前須經(jīng)過除塵、除油處理，確保后續(xù)涂層附著力。

空氣凈化系統(tǒng)安裝是核心環(huán)節(jié)。風(fēng)管制作采用鍍鋅鋼板，接口處使用密封膠條雙重密封，安裝前需進行壓力測試，確保漏風(fēng)率≤0.5/。高效空氣過濾器（HEPA）需在潔凈環(huán)境下拆封安裝，采用液槽密封方式，安裝后通過塵埃粒子計數(shù)器檢測，確保潔凈度達到ISO 5級標(biāo)準(zhǔn)。氣流組織采用垂直層流設(shè)計，風(fēng)速控制在0.3-0.5m/s，避免氣流紊亂導(dǎo)致的交叉污染。

機電系統(tǒng)與凈化工程協(xié)同施工至關(guān)重要。管線布局需避開氣流主導(dǎo)區(qū)域，電氣管線采用鍍鋅鋼管暗敷，燈具選用防塵防水的潔凈型LED燈，與吊頂平齊安裝。給排水管道采用不銹鋼材質(zhì)，接口采用焊接工藝，避免跑冒滴漏，所有管道安裝后需進行鈍化處理。

施工過程中的潔凈管控不忽視。施工人員需經(jīng)過風(fēng)淋室進入作業(yè)區(qū)，穿戴無菌工作服、手套及防塵鞋套，施工工具需經(jīng)酒精擦拭消毒。每日施工結(jié)束后采用真空吸塵器和無塵抹布進行清潔，每周進行一次總的潔凈度檢測。

竣工驗收階段需進行綜合性能測試，包括潔凈度、溫濕度波動范圍、靜壓差等指標(biāo)，確保所有參數(shù)符合設(shè)計要求，為光學(xué)微電子產(chǎn)品生產(chǎn)提供穩(wěn)定可靠的潔凈環(huán)境。濰坊光學(xué)微電子凈化工程潔凈生產(chǎn)區(qū)施工要點

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